本篇文章給大家談?wù)劃崈糗囬g裝修設(shè)計說明,以及潔凈車間工程設(shè)計對應(yīng)的知識點,希望對各位有所幫助,不要忘了收藏本站喔,本文目錄一覽:,,1、,無塵車間工程裝修要多久,?,2,、,,辦公空間設(shè)計說明 設(shè)計理念介紹,3,、,,潔凈凈化車間的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)?
本篇文章給大家談?wù)劃崈糗囬g裝修設(shè)計說明,,以及潔凈車間工程設(shè)計對應(yīng)的知識點,,希望對各位有所幫助,不要忘了收藏本站喔,。
本文目錄一覽:
- 1,、無塵車間工程裝修要多久,?
- 2、辦公空間設(shè)計說明 設(shè)計理念介紹
- 3,、潔凈凈化車間的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn),?
- 4,、無塵車間通風(fēng)工程要求高嗎
- 5、無塵車間等級之間的劃分及等級標(biāo)準(zhǔn)
- 6,、無塵車間的安全要求
無塵車間工程裝修要多久?
無塵車間工程裝修一般需要一個月左右,。
無塵車間裝修最快要多少天,,主要要看你車間什么級別,裝修要求高不高,。如果很嚴(yán)格,,有溫濕度要求,那么對空調(diào)的選用也就樣。一般空調(diào)設(shè)備的時間稍微長,,如果快的話1個月左右,,當(dāng)然中間還要看雙方配合,如果有一方因其他原因耽擱可能就不只是一個月了,。
在裝修的時候應(yīng)該找一家靠譜的公司,,曼克斯公司主要業(yè)務(wù)方向:江蘇、上海,、浙江,、安徽等省市,。公司本著“因為專注所以專業(yè),、因為專業(yè)所以卓越”的理念,憑借超前的設(shè)計構(gòu)思,、合理的預(yù)算報價,、精良的施工工藝,,優(yōu)質(zhì)的全程服務(wù),真誠的為每一家企業(yè)量身定制匹配的辦公空間及生產(chǎn)環(huán)境,。
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辦公空間設(shè)計說明 設(shè)計理念介紹
設(shè)計理念之源“人性化設(shè)計”現(xiàn)代辦公空間著重體現(xiàn)工作與生活的有機融合?!皞€性化設(shè)計”在企業(yè)整體形象上其獨特的個性直接影響著每一個員工的行為舉止,個性化辦公空間非常重要的一點就是展現(xiàn)企業(yè)形象,滿足企業(yè)精神和發(fā)展理念,。下面小編為大家介紹辦公空間設(shè)計說明以及設(shè)計理念!
辦公室設(shè)計主題?“靈透之材,蓬勃之勢”為主題,,本案就其“鋼之靈透”,用象征化的表現(xiàn)手法,,多元化的設(shè)計元素,力求整體風(fēng)格與整棟大樓協(xié)調(diào),、清新,、大氣的外觀設(shè)計保持一致,企業(yè)氣質(zhì)內(nèi)外渾然一體,,展現(xiàn)出富有深刻內(nèi)涵的視覺空間及該企業(yè)獨特的個性與特點,,將機械制造行業(yè)復(fù)蘇這一時代特性滲透于整個空間,既突顯陽剛的機械制造企業(yè)特質(zhì),,又蘊涵貴公司新興而極具沖擊力的蓬勃發(fā)展之勢!
設(shè)計理念表達(dá)圍繞其“靈透”,設(shè)計師在本案中大量使用了玻璃,、銀色系列及淺色調(diào)的潔凈材料,如玻璃幕墻、銀質(zhì)鋁塑板,、水晶白麻石材,、玻化磚等,,圍繞本案主題,構(gòu)筑個性化空間,該色彩搭配除了清透,、雅致,、穩(wěn)重、大氣之外,亦表現(xiàn)出一種力度感和效率感,。滲透入貴機械制造企業(yè)之“清透感”,亦反襯企業(yè)之“柔美感”,。
前臺前廳設(shè)計說明
首先闖入眼簾的是企業(yè)形象墻,以其企業(yè)文化的新興、蓬勃,、嚴(yán)謹(jǐn)為主題,,兩側(cè)以“居有竹、步步高”的銀色墻柱帶來視覺沖擊感,,加上企業(yè)形象色的類比色,、淺色石材及不銹鋼條的運用,顯示出金屬的質(zhì)感和工業(yè)文明的主題;華堂上方呼應(yīng)以直線為主調(diào),、大筆勾勒而出的時尚型弧面吊頂,,大直大方顯示出強烈的縱深感,加之以清透,、明媚的光色渲染,工整氣派,、大家風(fēng)范,,反襯出貴公司辦公樓的現(xiàn)代時尚特性,以干練快捷的設(shè)計節(jié)奏,,展示出質(zhì)量與效率并舉的時代精神,。
走道設(shè)計說明
由于原走道較長,?為突顯建筑開間較舒適之優(yōu)點,設(shè)計師特意設(shè)計了過道各柱體間鑲嵌不銹鋼條及玻璃幕墻上的磨砂條來點綴的裝修主題,同時,地面用拼花色帶打破,與方正而美觀的吊頂上下呼應(yīng);辦公室靠近走道的墻面,為將自然光透入走道,同時又加強其“靈透”感,采用清玻幕墻,,幕墻上的磨砂條既打破了玻璃墻面的呆板,,又提醒了行人幕墻的存在,防止無意識碰頭,、沖撞等類似意外發(fā)生;為辦公室的后續(xù)私密性考慮,其清玻幕墻內(nèi)掛以百葉窗遮擋既可,。
接待廳設(shè)計說明
在接待室的處理上,特設(shè)計了可向客戶展示企業(yè)榮譽品的展示墻,用料實際,,無須雕琢張揚,,直線條的造型讓整個空間顯得穩(wěn)重大方,淺色系材料的運用延續(xù)了靈動而清澈的氣韻,,大方莊重卻內(nèi)含現(xiàn)代時尚,。而且色調(diào)淡雅的地毯、沙發(fā),、背景,,還突出了接待廳親切、和睦,、寬松的氛圍,,使穩(wěn)靜而坦誠的晤談氣氛盎然一室,。
會議室多功能廳設(shè)計說明
環(huán)環(huán)相扣的圓弧頂面造型,層層遞近的燈具圍繞圓型屋頂向外拓展,,突出空間的立體造型感,,也使天花燈飾顯出碧玉般通透潤澤的光影。設(shè)計成舞臺平臺的主席臺具備多功能的特點,,可兼顧各類舞臺表演及大型會場會議的組織,。粗曠沉穩(wěn)的圓形大立柱及方柱,頗具雄偉之勢,,但是考慮到其在大型場地內(nèi)的阻礙性問題,,故不將此做再多修飾,僅僅以真石漆的噴涂來達(dá)到既不擴大柱圍又美化柱體的作用;地面以座位的安排為向?qū)?,輔以簡易直紋拼花來點綴,。
員工辦公區(qū)設(shè)計說明
簡潔的裝飾語言,對稱的空間布局,,規(guī)范方整,、功能健全,與環(huán)境形成交流,,最終達(dá)成默契,,突出了現(xiàn)代辦公環(huán)境講究效率的特征。
總經(jīng)理辦公室設(shè)計說明
在考慮總經(jīng)理的辦公室空間布局時,,因?qū)λ麨槿藝?yán)謹(jǐn),、負(fù)責(zé)、勤儉的優(yōu)良品行有所了解,,特摒棄了一切繁文縟節(jié)的矯飾,,一切盡在實用、明快而流暢的格局中;配合現(xiàn)代辦公環(huán)境的追求,,設(shè)置實用與展示性相結(jié)合的整墻書柜,,旁倚商務(wù)型老板桌,既陳設(shè)精雅,、品味清亮,、格調(diào)一致,又可于繁忙后賞窗外風(fēng)光,、待客會友;簡潔的吊頂,,照顧到了辦公、會客區(qū)的燈光劃分,。
董事長辦公室設(shè)計說明
因為空間較其他辦公室寬敞,,加之衛(wèi)生間門的開向正對室內(nèi),特設(shè)計了展示性隔斷柜,加強其辦公,、會客及生活的區(qū)域性,,既做到了空間上的劃分,,又可通過展示柜內(nèi)的擺設(shè)輔助室內(nèi)布置呈現(xiàn)事業(yè)風(fēng)貌及個人雅興,體現(xiàn)其穩(wěn)重而時尚的人性化的特點,。
以上就是關(guān)于辦公室空間設(shè)計的全部介紹,,辦公空間絕不僅是指辦公室之類的孤立空間,還包括供機關(guān),、商業(yè),、企事業(yè)單位等辦理行政事物和從事業(yè)務(wù)活動的辦公環(huán)境系統(tǒng)。因此,,辦公空間設(shè)計包含的內(nèi)容十分豐富,,辦公室設(shè)計中所需要考慮的因素也較為復(fù)雜,為了更好地把握辦公室設(shè)計中的規(guī)律,,辦公空間設(shè)計首先需進(jìn)行簡單的分類,。
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潔凈凈化車間的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)?
凈化車間又叫無塵車間潔凈車間裝修設(shè)計說明,,無塵車間可以分為以下六個級別:十萬級無塵車間、萬級無塵車間,、千級無塵車間,、百級無塵車間、十級無塵車間,、一級無塵車擴展資料潔凈車間裝修設(shè)計說明:100000級十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門潔凈車間裝修設(shè)計說明,,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),,液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī),、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間,。10000級萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),,此外,,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。1000級這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),,還用于測試,,裝配飛機蛇螺儀,,裝配高質(zhì)微型軸承等。100級很多人認(rèn)為,,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,。100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植入體內(nèi)物品的制造,,外科手術(shù),,包括移植手術(shù),集成器的制造,,那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療,。10級這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于 2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。1級這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),,對集成電路的精確要求為亞微米,。
一般在凈化室是有等級的,選用多種多樣工藝流程實際操作時,,應(yīng)依據(jù)各工藝流程不一樣的規(guī)定,,選用不一樣的氣體潔凈度等級,根據(jù)工藝流程規(guī)定明確等級,。醫(yī)藥業(yè)藥生產(chǎn)制造工藝流程的清潔級別和潔凈區(qū)的劃分,,應(yīng)參考《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》中中藥制劑和原輔料加工工藝內(nèi)容及自然環(huán)境地區(qū)劃分而定。藥物生產(chǎn)制造凈化室的氣體潔凈度劃分為四個等級,。在考慮生產(chǎn)工藝流程規(guī)定的前提條件下,,最先應(yīng)選用低清潔等級的清潔濕或部分空氣過濾潔凈車間裝修設(shè)計說明;次之可選用部分工作中地區(qū)空氣過濾和第等級全省空氣過濾緊密結(jié)合或選用全方位空氣過濾,。清潔房間內(nèi)規(guī)定:氣體潔凈度等級高的工藝流程應(yīng)布局在上風(fēng)側(cè),,易造成環(huán)境污染的工藝技術(shù)應(yīng)布局在挨近送風(fēng)口部位;清潔車間的平面圖和室內(nèi)空間設(shè)計,,應(yīng)考慮生產(chǎn)工藝流程各氣體潔凈度的規(guī)定,,潔凈區(qū)、工作人員清潔,、原材料清潔和別的輔助用地要分區(qū)布局,。另外應(yīng)考慮到生產(chǎn)制造實際操作、工藝技術(shù)安裝與檢修,、管道布局,、氣旋流形及其空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件各種各樣技術(shù)性設(shè)備的綜合性融洽。為保證 房間內(nèi)的潔凈度,,把應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),、中央空調(diào)的標(biāo)準(zhǔn)等做為更為基礎(chǔ)的內(nèi)容,,在充分考慮工作性和氣旋情況后再給予明確。在結(jié)構(gòu)需要有提前準(zhǔn)備室,、更衣間,、清理室、休息區(qū),、管理室等,。做為房間內(nèi)的清潔化氣旋方法,有豎直層.流式,、水準(zhǔn)層.流式,、非層.流式。在其中,,究竟應(yīng)用哪一種方法,,要依據(jù)潔凈度的級別及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)來決策。
根據(jù)區(qū)域環(huán)境,、凈化程度等因素,,凈化車間可為若干等級。一般來說,,數(shù)值越小,,代表凈化級別越高。即百級千級萬級十萬級三十萬級,。以最常見的十萬級凈化車間來說,,指的就是空氣潔凈度為十萬級的潔凈車間。
無塵凈化車間潔凈度級別:百級千級萬級十萬級三十萬級也就是說值越小,,凈化級別就越高,。潔凈度越高造價就越高。無塵車間的凈化潔凈度根據(jù)生產(chǎn)工藝要求,,需選合適的級別,。
你是怎么分的按高中低三個檔次來分的,,經(jīng)過三個環(huán)節(jié),,最后才可以把它凈化干凈。
無塵車間通風(fēng)工程要求高嗎
一,、材料要求
無塵潔凈車間的設(shè)計與施工當(dāng)中除潔凈車間裝修設(shè)計說明了包含施工要素以外潔凈車間裝修設(shè)計說明,,更重要的是前期的設(shè)計準(zhǔn)備。首先選擇通風(fēng)管道材料時要尤其謹(jǐn)慎,,要求金屬通風(fēng)管道的材料及規(guī)格等均符合國家相關(guān)規(guī)定,,但往往一些管道材料設(shè)計時并無規(guī)定,此時應(yīng)嚴(yán)格按照“規(guī)范”進(jìn)行執(zhí)行,。
二,、保溫材料要達(dá)到防火等級
先進(jìn)的無塵潔凈車間在設(shè)計與施工中的風(fēng)管的保溫材料厚度也需要更加注意,,因為其厚度和防火等級共同促成了風(fēng)管保溫材料性能。選擇風(fēng)管的保溫材料時不僅要注意檢測部門的檢驗報告而且還要注意潔凈風(fēng)管的防火等級,,這樣可能會遺留下安全隱患產(chǎn)生后續(xù)問題,。
三、配部件的氣密性
無塵潔凈車間的設(shè)計與施工中需要有大量的部件,,如果配部件的氣密性和剛性不達(dá)標(biāo),,不但使壽命大幅的影響而且失去了潔凈廠房的潔凈功能;施工過程當(dāng)中甚至要檢查靜壓箱體的材質(zhì)及風(fēng)閥的氣密性,,這均是要保證配件的氣密性達(dá)標(biāo),。
潔凈廠房的設(shè)計與施工完成之后還需要對設(shè)計的設(shè)備進(jìn)行報檢,報檢工作當(dāng)中首先檢查外觀是否完整,,設(shè)備產(chǎn)品說明是否完整,。總而言之潔凈廠房的設(shè)計與施工要比普通設(shè)計嚴(yán)苛數(shù)倍,,無論是施工人員或者監(jiān)理人員都要尤其重視,。
無塵車間等級之間的劃分及等級標(biāo)準(zhǔn)
無塵車間的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)緊密的聯(lián)系在一起,。目前在生物制藥,、醫(yī)療衛(wèi)生、食品日化,、電子光學(xué),、能源、精密器械等行業(yè)運用已經(jīng)相當(dāng)?shù)钠毡榍页墒?。無塵車間分為幾個等級潔凈車間裝修設(shè)計說明,,分別為1級≥百級級≥千級級≥萬級≥十萬級≥百萬級潔凈車間裝修設(shè)計說明,越排在前面,,級別越高,,1級是級別最高的。最常見的是百級到十萬級,,不同等級還有著不同的等級標(biāo)準(zhǔn),。
空氣潔凈度等級:
潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn),。國內(nèi)按空態(tài),、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進(jìn)行測試,、驗收,,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規(guī)范》。
潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,,是檢驗無塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),,該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素,,分為若干等級,,常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
ISO14644-1國際標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級劃分
GB50073-2013 國家標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級
中國GMP(2010年修訂)
新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下:
各國潔凈度等級近似對照表
無塵車間(潔凈室)等級說明:
等級定義的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是無塵室的等級,,例如100或10000等等,,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復(fù)選,。意思就是使用者規(guī)定,,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度,。這樣可以減少紛爭,,以下是幾個例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,,10000....),,一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,,1.... ),,一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài),,例如:
Class X (at Y μm ),,At-rest
供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限,,一般在As-built時無塵室都很干凈,,微粒控制能力測試不易,,這時可以干脆把驗收上限壓低,,例如:
Class 10000 (0.3 μm = 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm = 1000),,As-built
這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時,,依然有足夠的微粒控制能力,。
潔凈室案例圖集:
1,、半導(dǎo)體行業(yè):
黃光車間多建在百級潔凈區(qū),,千級潔凈區(qū)也有涉及
2,、半導(dǎo)體潔凈室(高架地板)常應(yīng)用于百級和千級區(qū)域:
3、常規(guī)半導(dǎo)體潔凈室(潔凈區(qū):萬級至十萬級):
4、常規(guī)潔凈室:
無塵車間的安全要求
一,、無塵室須知
1. 進(jìn)入無塵室前,,必須知會管理人,并通過基本訓(xùn)練,。
2. 進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙,,吃(飲)食,外來雜物(如報章,,雜志,,鉛筆...等)不可攜入,并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天,。
3. 進(jìn)入無塵室前,,需在規(guī)定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內(nèi),,外衣置于衣柜內(nèi),,私人物品置于私人柜內(nèi),柜內(nèi)不可放置食物,。
4.進(jìn)入無塵室須先在更衣室,,將口罩,無塵帽,,無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊,,再經(jīng)空氣洗塵室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入,。
5. 戴口罩時,,應(yīng)將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,,以免呼吸時污染芯片,。
6. 穿著無塵衣,無塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā),,以免著上無塵衣后,,不得整理又感不適。
7. 整肅儀容后,,先戴無塵帽,,無塵帽的穿戴原則系:
(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi),不得外露,。
(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上,,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,,裸露肩頸部,。
8.無塵帽戴妥后,,再著無塵衣,無塵衣應(yīng)尺吋合宜,,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,,穿衣時應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài),無塵衣不可反穿,。
9. 穿著無塵衣后,,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,,確實蓋在褲管之上,。
10. 戴手套時應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,,應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi),,以隔絕污染源。
11. 無塵衣著妥后,,經(jīng)洗塵,,并踩踏除塵毯,方得進(jìn)入無塵室,。
12. 不論進(jìn)入或離開無塵室,,須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區(qū)域為之,,尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫,。
13. 無塵衣,鞋套等,,應(yīng)定期清洗,,有破損,脫線時,,應(yīng)即換新,。
14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反,。
15. 脫下之無塵衣應(yīng)吊好,,并放于更衣室內(nèi)上層柜子中;鞋套應(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內(nèi)小柜中,,除了放置無塵衣等規(guī)定物品外,,不得放置其它物品。
17. 除規(guī)定紙張及物品外,,其它物品一概不得攜入無塵室,。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置于規(guī)定處所,。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)使用,。
20. 任何東西進(jìn)入無塵室,,必須用灑精擦拭干凈。
21. 任何設(shè)備的進(jìn)入,,請知會管理人,在無塵室外擦拭干凈,,方可進(jìn)入,。
22. 未通過考核之儀器,禁止使用,,若遇緊急情況,,得依緊急處理步驟作適當(dāng)處理,例如關(guān)閉水,、電,、氣體等開關(guān)。
23. 無塵室內(nèi)絕對不可動火,,以免發(fā)生意外,。
二、無塵室操作須知
1. 處理芯片時,,必須戴上無纖維手套,,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,,遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗,,方得繼續(xù)使用:
(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子,。
(2) 芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,若被手指碰觸過,,必須重新清洗,。
(3)把芯片放置于石英舟上,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時,,若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用,。
2. 芯片必須放置盒中,,蓋起來存放于規(guī)定位置,盡可能不讓它暴露,。
3.避免在芯片上談話,,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴散爐前,,請?zhí)貏e注意,,防止上述動作產(chǎn)生,,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之,。
4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟,,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,,必須垂直向上挾起,,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,,方可從吸座上移走芯片,。
5. 芯片上,若已長上氧化層,,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記,。
6. 操作時,不論是否戴上手套,,手絕不能放進(jìn)清洗水槽,。
7. 使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時,務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),,不可使用塑料盒,。
8. 擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,,然后再進(jìn)氧化爐,。
9. 請勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被碰觸或有碎芯片污染,,必須重作清洗,。
10. 手套,廢紙及其它雜碎東西,,請勿留置于操作臺,,手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新,。
11. 非經(jīng)指示,,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。
12. 奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,,顏色,,聲響等請即通知相關(guān)人員。
13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,,務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師,。
14. 芯片盒進(jìn)出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,,違者不得進(jìn)入,。
15. 無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,,一般紙張與鉛筆不得攜入。
三,、黃光區(qū)操作須知
1. 濕度及溫度會影響對準(zhǔn)工作,,在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度,并應(yīng)減少對準(zhǔn)機附近的人,,以減少濕,、溫度的變化。
2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,,不得攜出黃光區(qū)以免感光,。
3. 己上妥光阻,,而在等待對準(zhǔn)曝光之芯片,,應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi), 盒蓋必須蓋妥,。
4. 光罩使用時應(yīng)持取邊緣,,不得觸及光罩面,任何狀況之下,,光罩鉻膜不得與他物接觸,,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之,。
5. 曝光時,,應(yīng)避免用眼睛直視曝光機汞燈。
四,、鑷子使用須知
1. 進(jìn)入實驗室后,,應(yīng)先戴上手套后,再取鑷子,,以免沾污,。
2. 唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,,方可再使用,。
3. 鑷子使用后,應(yīng)放于各站規(guī)定處,,不可任意放置,,如有特殊制程用鑷子,使用后應(yīng)自行保管,,不可和實驗室內(nèi)各站之鑷子混合使用,。
4. 持鑷子應(yīng)采"握筆式"姿勢挾取芯片,。
5. 挾取芯片時,順序應(yīng)由后向前挾取,,放回芯片時,,則由前向后放回,以免刮傷芯片表面,。
6. 挾取芯片時,,"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面,"長邊" (平頭)置于芯片背面,,挾芯片空白部分,,不可傷及芯片。
7. 嚴(yán)禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中,。
8. 鑷子僅可做為挾取芯片用,,不準(zhǔn)做其它用途。
五,、化學(xué)藥品使用須知
1. 化學(xué)藥品的進(jìn)出須登記,,并知會管理人,并附上物質(zhì)安全資料表(MSDS)于實驗室門口,。
2. 使用化學(xué)藥品前,,請詳讀物質(zhì)安全資料表(MSDS),并告知管理人,。
3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙,,戴上防酸長袖手套,頭戴護(hù)鏡,,腳著塑料防酸鞋,,始可進(jìn)行換酸工作。
4. 不得任意打開酸瓶的蓋子,,使用后立即鎖緊蓋子,。
5. 稀釋酸液時,千萬記得加酸于水,,絕不可加水于酸,。
6. 勿嘗任何化學(xué)藥品或以嗅覺來確定容器內(nèi)之藥品。
7. 不明容器內(nèi)為何種藥品時,,切勿搖動或倒置該容器,。
8. 所有化學(xué)藥品之作業(yè)均須在通風(fēng)良好或排氣之處為之。
9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規(guī)范,。
10. 酸類可與堿類共同存于有抽風(fēng)設(shè)備的儲柜,,但絕不可與有機溶劑存放在一起。
11. 廢酸請放入廢酸桶,不可任意傾倒,,更不可與有機溶液混合,。
12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內(nèi),不可任意傾倒或倒入廢酸桶內(nèi),。
13. 勿任意更換容器內(nèi)溶液,。
14.欲自行攜入之溶液請事先告知經(jīng)許可后方可攜入,如果欲自行攜入之溶液具有危險性時,,必須經(jīng)評估后方可攜入,,并請于容器上清楚標(biāo)明容器內(nèi)容物及保存期限。
15. 廢液處理:廢液分酸,、堿,、氫氟酸、有機,、等,,分開處理并登記,回收桶標(biāo)示清楚,,廢液桶內(nèi)含氫氟酸等酸堿,,絕對不可用手觸碰,。
16.漏水或漏酸處理:漏水或漏酸時,,為確保安全,絕對不可用手觸碰,,先將電源總開關(guān)與相關(guān)閥門關(guān)閉,,再以無塵布或酸堿吸附器處理之,并報備管理人,。
六,、化學(xué)工作站操作
1. 操作時須依規(guī)定,戴上橡皮手套及口罩,。
2. 不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中,。
3. 添加任何溶液前,務(wù)必事先確認(rèn)容器內(nèi)溶劑方可添加,。
4. 在化學(xué)工作站工作時應(yīng)養(yǎng)成良好工作姿勢,,上身應(yīng)避免前傾至化學(xué)槽及清洗槽之上方,一方面可防止危險發(fā)生,,另一方面亦減少污染機會,。
5. 化學(xué)站不操作時,有蓋者應(yīng)隨時將蓋蓋妥,,清洗水槽之水開關(guān)關(guān)上,。
6. 化學(xué)藥品濺到衣服、皮膚,、臉部,、眼睛時,,應(yīng)即用水沖洗濺傷部位15分鐘以 上,且必須皮膚顏色恢復(fù)正常為止,,并立刻安排急救處理,。
7. 化學(xué)品外泄時應(yīng)迅速反應(yīng),并做適當(dāng)處理,,若有需要撤離時應(yīng)依指示撤離,。
8. 各化學(xué)工作站上使用之橡皮手套,避免觸碰各機臺及工作臺,,及其它器具等物,,一般操作請戴無塵手套。
七,、RCA Method
1. DIWater 5min
2. H2SO4:H2O2=3:1 煮10~20min 75~85℃,,去金屬、有機,、油
3. DIWater 5min
4. HF:H2O 10~30sec,,去自然氧化層(Native Oxide)
5. DIWater 5min
6. NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮10~20min 75~85℃,去金屬有機
7. DIWater 5min
8. HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮10~20min 75~85 ℃ 去離子
9. DIWater 5min
10. Spin Dry
八,、清洗注意事項
1. 有水則先倒水,,H2O2最后倒,數(shù)字比為體積比,。
2. 有機與酸堿絕對不可混合,,操作平臺也務(wù)必分開使用。
3. 酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽,,并以DI Water沖玻璃杯5 min,。
4. 酸堿空瓶以水清洗后,并依塑料瓶,,玻璃瓶分開置于室外回收筒,。
5. 氫氟酸會腐蝕骨頭,若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹,,再用清水沖洗干凈,,并就醫(yī)。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗,。
6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染,。
7. 簡易清洗步驟為1-2-9-10;清洗SiO2步驟為1-2-10,;清洗Al以HCl:H2O=1:1,。
8. 去除正光阻步驟為1-2-10,或浸入ACE中以超音波振蕩。
9. 每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液,,蝕刻,、清洗、電鍍,、有機絕不能混合,。
10. 廢液回收分酸、堿,、氫氟酸,、電鍍、有機五種,,分開回收并記錄,,傾倒前先檢查廢棄物兼容性表,確定無誤再傾倒,。
無塵室系統(tǒng)
使用操作方法
1. 首先打開控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】,、【加壓風(fēng)車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室運轉(zhuǎn)】,、【排氣風(fēng)車運轉(zhuǎn)】等開關(guān),。
注意:
* 溫度控制器及濕度控制器可由黃色鈕調(diào)整,一般溫度控制為20℃ DB ,,濕度控制為50% RH,。
*左側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RU】,電流切換開關(guān)為【T】,。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RS】,,電流切換開關(guān)為【OFF】,。
2. 將箱型空氣調(diào)節(jié)機的送風(fēng)關(guān)關(guān)打開,,等送風(fēng)穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開關(guān)打開,此時紅色燈會亮起,,表示正常運作,。
注意:
* 冷氣的起動順序為壓縮機【NO.2】。
* 溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】,。
* 分流開關(guān)AIR VALVE 為【ON】,。
3. 無塵室使用完畢后,要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機關(guān)閉,,按【停止】鍵即可,。
4. 再將控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車運轉(zhuǎn)】,、【浴塵室運轉(zhuǎn)】,、【排氣風(fēng)車運轉(zhuǎn)】等開關(guān)依序關(guān)閉。
氣體鋼瓶
使用操作方法
1. 用把手逆時針打開氣體鋼瓶到底,將【OUTLET】打開PURGE關(guān)閉,。
2. 由黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)整氣體鋼瓶的壓力(psi),,順時針方向為增加,逆時針方向為減少,。
3. 將N2鋼瓶調(diào)整為40psi(黃光室內(nèi)為20psi),AIR鋼瓶調(diào)整為80psi(黃光室內(nèi)為60psi),。
4. 氣體鋼瓶使用完畢后,用把手順時針關(guān)閉氣體鋼瓶到底,,將【OUTLET】關(guān)閉【PURGE】打開將管路內(nèi)的氣體排出后將【PURGE】關(guān)閉,。
純水系統(tǒng)
使用操作方法
1. 閥門控制
(1) 閥門(VALVE)V1、V2,、V3,、V4、V6,、V8,、V10、V12,、V13,、V14、V16,、V17,、V19應(yīng)保持全開。
(2) 閥門V5,、V7,、V11、V18,、V21應(yīng)保持全關(guān),。
(3) 閥門V9、V20為調(diào)壓作用,,不可全開或全關(guān),。
(4) 閥門中V5為砂濾機之BY-PASS,V15為U.V燈之BY-PASS,,V18為DI桶之BY-PASS,,V21為RO膜之BY-PASS。
2. 自動造水
步驟1:如上【閥門控制】將各球閥門開關(guān)定位,。
步驟2:控制箱上,,各切換開關(guān)保持在【OFF】位置。
步驟3:將控制箱上【系統(tǒng)運轉(zhuǎn)】開關(guān)切換至【ON】位置,。
步驟4:電磁閥1 激活先做初期排放,。
步驟5:電磁閥2 激活造水,。
步驟6:此時,PUMP1,、PUMP2依序激活,,系統(tǒng)正常造水,RO產(chǎn)水經(jīng)管路進(jìn)入儲水桶(TANK),,當(dāng)水滿后控制箱上高液位指示燈亮,,系統(tǒng)自動停機,并于儲水桶水位下降至低液位時再激活造水,。
3. 系統(tǒng)用水
將控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開關(guān)切換至【用水】,,此時PUMP3輸送泵浦激活,TANK內(nèi)之純水經(jīng)幫浦輸送至U.V,、DI桶及精密過濾后,,供現(xiàn)場各使用點使用。
4. 夜間循環(huán)
控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開關(guān),,主要在配合每日下班或連續(xù)假日停止供水后管路之衛(wèi)生考慮,,其步驟為:
(1) 停止供水59分鐘后,系統(tǒng)再自動供水1分鐘,。
(2) 此后每隔59分鐘供水循環(huán)1分鐘至夜間循環(huán)【?!繛橹埂?/p>
5. 系統(tǒng)偵測
本系統(tǒng)中附有各項壓力表,、流量計及導(dǎo)電度計,,作為系統(tǒng)運轉(zhuǎn)之控制,其功能如下:
壓力表1:砂濾機進(jìn)水壓力
壓力表2:RO進(jìn)水壓力
壓力表3:RO排水壓力
壓力表4:DI進(jìn)水壓力
壓力表5:供水回流壓
流量計1:RO排水流量
流量計2:RO產(chǎn)水流量
另外,,控制箱(機房)附有二段式LED導(dǎo)電度顯示屏,,原水及產(chǎn)水分別切換顯示。
6. 系統(tǒng)維護(hù)
HF-RD系統(tǒng),,應(yīng)定期更新之耗材:
(1) 砂濾機應(yīng)定期逆時,。
(2)預(yù)濾應(yīng)每1-2個月更新。
(3)膜管應(yīng)視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新,。
(4)樹脂混床視比電阻值更新,。
(5)精密過濾約每2-4個月更新。
7. 故障排除
現(xiàn) 象 可能因素 排除方法
系統(tǒng)停機,、系統(tǒng)無法激活 1. 外電源異常2. 系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)未按下3. 系統(tǒng)電路故障4. 馬達(dá)/泵浦故障 1. 檢查系統(tǒng)電源電路2. 按下系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)3. 通知廠商4. 更新馬達(dá)/泵浦
低產(chǎn)水量 1. 膜管排水量太高2. 壓力不足3. 膜管阻塞 1. 調(diào)整排水閥V92. 清洗膜管或更新膜管
低比電阻 1. 樹脂功能下降2. RO去除率下降 1. 更換樹脂2. 更換RO膜組
光罩對準(zhǔn)機
使用操作方法
曝光機簡介
在半導(dǎo)體制程中,涂布光阻后的芯片,,須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影,,此臺曝光機為OAI200系列,整合光罩對準(zhǔn),、UV紫外光曝光顯影,、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置,。
OAI200系列為一入門型光罩對準(zhǔn)儀,可以手動操作更改各項使用參數(shù),,如曝光時間,、曝光強度及曝光功率等等。對于中高階的線寬有很好的顯影效果,,此系列最大可使用四吋的芯片,,最大的曝光功率為1KW。
曝光機使用步驟
1. 檢查氮氣鋼瓶〈AIR 60psi〉〈N220psi〉以及黃光室的氮氣閥,、空氣閥是否有開啟,。開啟曝光機下方延長線的紅色總開關(guān),再開啟曝光機,、顯微鏡,。
2. 接上隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源,進(jìn)行曝光機抽風(fēng)步驟,,并檢查曝光機上方汞燈座后面進(jìn)風(fēng)口是否有進(jìn)氣,。如果風(fēng)量微小或者無進(jìn)氣,則無法開啟汞燈的電源〈會有警報聲〉,。確定進(jìn)風(fēng)口有進(jìn)氣后,,才可開啟曝光機下方的汞燈電源供應(yīng)器ON/OFF開關(guān)。
3. 按住汞燈電源供應(yīng)器之START鍵,,約1~3秒鐘,,此時電流值會上升〈代表汞燈點亮,開始消耗電流〉,,馬上放掉按鍵,,汞燈即被點亮。
4. 汞燈點亮后,,至少須待機30分鐘,,使Lightsource系統(tǒng)穩(wěn)定。假使汞燈無法點亮,,請不要作任何修護(hù)動作,。
5. 待系統(tǒng)穩(wěn)定后,把電源供應(yīng)器上的電壓,、電流值填到紀(jì)錄表上,,每一次開燈使用都要登記作為紀(jì)錄。
6. 旋開光罩夾具之螺絲,,光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下,,對準(zhǔn)三個基準(zhǔn)點,壓下【MASKVAC.】鍵,,使真空吸住光罩,,再鎖好螺絲以固定光罩,。
注意:
* MASK Holder 必須放下時才能放置光罩。扳動【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASKHolder升起或放下,。
* 先用氮氣吹光罩和MASK Holder,,光罩正面朝下,對準(zhǔn)黑邊鐵框,,手勿接觸光罩,,壓下【MASKVAC.】鍵,使真空吸住光罩,,鎖上旁邊兩個黑鐵邊,。
* 檢查放置芯片的圓形基座CHUNK是否有比光罩低些,防止光罩壓破芯片,。
7. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】鍵,,使MASKHolder上升,放置芯片到CHUNK上,,將【SUB VAC.】鍵扳至ON,,使真空吸住芯片,扳下【MASK FRAMEUP/DOWN】鍵,,使MASK Holder放下,。
8. 扳動臺邊鈕(Ball LockButton)為Unlock,順時針方向慢慢旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕(Z knob),,使芯片基座上升,,直到傳動皮帶感覺已拉緊即可,然后逆時針旋轉(zhuǎn)ZKnob約15格,,扳動臺邊鈕(Ball Lock Button)為Lock,。
注意:
* Z knob 每格約15 microns。
* 逆時針方向旋轉(zhuǎn)Zknob,,會使放置芯片基座下降,,其目的是為了作對準(zhǔn)時,讓芯片和光罩有些許的距離,,使芯片與光罩不會直接摩擦,。
* 若不須對準(zhǔn)時,可以不使用逆時針方向旋轉(zhuǎn)Z knob,。
* 旋轉(zhuǎn)Zknob時,,不論順時針或逆時針轉(zhuǎn)動,當(dāng)皮帶打滑時,,代表芯片基座已和光罩接觸,,此時不可逆時針旋轉(zhuǎn),而導(dǎo)致內(nèi)部螺栓松脫,。
* CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST一般為15A~20 A之間,,且電流越小皮帶越松。
9. 移動顯微鏡座,,至光罩上方,,作芯片與光罩的對準(zhǔn)校正。如須調(diào)整芯片的位置,,可使用芯片基座旁的微調(diào)桿,,校正芯片座X、Y及θ,。
10.
100 SEC
1000 SEC
RESET
EXPOSE
SEC
曝光機面板左側(cè)如下圖:
注意:
*曝光秒數(shù)有兩種設(shè)定,,一種為1000SEC,一種為100SEC,。當(dāng)按下1000SEC時,,計數(shù)器最大可設(shè)999秒的曝光時間;按下100SEC時,,計數(shù)器最大可設(shè)99.9秒的曝光時間,。
* 再設(shè)定曝光秒數(shù)時要先測量汞燈的亮度,先按LAMP TEST再按住把手上的按鈕移動基座至曝光機左端底,,后然將OAI 306 UVPOWERMETER放置于CHUNK上即可,,完畢后按RESET,而且可多測幾個不同的位置,,觀看汞燈的亮度是否均勻,,所測得的單位為mw/cm2,乘時間(SEC)即變可mJ的單位,。
11. 設(shè)定好曝光秒數(shù)后,,即可進(jìn)行曝光的程序。扳動【CONTACT VAC.】至ON,,【N2 PURGE】至ON,,則芯片和光罩之間會產(chǎn)生些許的真空。
注意:
*【CONTACT VAC ADJUST】的范圍一般為紅色-25kpa 左右,。
12. 按住把手上的按鈕,,此時基座才可移動,移至曝光機左端底,,放開按鈕,,則曝光機會自動進(jìn)行曝光的動作。
13. 曝光完成后,,即可將基座移回曝光機右端,。扳動扳動【N2 PURGE】為OFF。再扳動【CONTACTVAC.】至OFF,,儀器會充氮氣破光罩與芯片間的真空,,方便使用者拿出芯片,。
14. 逆時針旋轉(zhuǎn)Z knob,降下芯片基座至最低點,。松開光罩固定的黑邊鐵框,,拉起【MASK VAC.】鈕,即可破除MASKHolder的真空,,光罩即可取出,。
15. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】為UP,使MASK Holder升起,。扳動【SUBVAC.】為OFF,,使用芯片夾取出芯片,再扳【MASK FRAME UP/DOWN】為DOWN,。
16. 如須進(jìn)行再一次的曝光,,則可重復(fù)上述步驟。
17. 完成所有的曝光程序后,,先關(guān)掉顯微鏡光源產(chǎn)生器,,再關(guān)掉汞燈電源供應(yīng)器?!搓P(guān)燈后一小時內(nèi)不可再開啟汞燈,,已延長汞燈壽命〉
18. 先關(guān)隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源,關(guān)掉曝光機的開關(guān)【SYSTEMON/OFF】為OFF,,再關(guān)掉曝光機下方的延長線總開關(guān),。待曝光機冷卻后,最后再關(guān)掉墻上氮氣閥及空氣閥,。
熱蒸鍍機
使用操作方法
A.開機步驟
1. 開機器背面的總電源開關(guān),。
2. 開冷卻水,需先激活D.I Water 系統(tǒng),。
3. 開RP,,熱機2分鐘。
4. 開三向閥切至F.V的位置,,等2分鐘,。
5. 開DP,熱機30分鐘(熱機同時即可進(jìn)行Sample 之清洗與裝載,,以節(jié)省時間),。
B.裝載
1. 開Vent,進(jìn)氣之后立刻關(guān)閉,。
2. 開Chamber,。
3. Loading Sample、Boat及金屬。
4. 以Shutter擋住Sample,。
5. 關(guān)Chamber,,關(guān)門時務(wù)必注意門是否密合,因機器年久失修,,通常須用手壓緊門的右上角,。
C.抽真空
1. 初抽
(1)三向閥切至R.V位置(最好每隔幾分鐘就切換到F.V一下,,以免DP內(nèi)的幫浦油氣分子擴散進(jìn)入chamber中),。
(2) 真空計VAP-5顯示至5′10-2 torr時三向閥切至F.V,等30秒,。
2. 細(xì)抽
(1) M.V ON,,記錄時間。
(2) ION GAUGE ON,,壓下Fil 點燃燈絲(需要低于10-3 Torr以下才抽氣完成),。
D.蒸鍍
1. 壓力約2′10-5 Torr時,開始加入液態(tài)氮,。
2. 壓力低于2′10-6 Torr時,,記錄壓力及抽氣時間并關(guān)掉ION GAUGE。
3. Heater Power ON (確定Power調(diào)整鈕歸零),。
4. 選擇BOAT1 or BOAT2,。
5. 蒸鍍開始,注意電流需慢慢增加,。
注意:
* 鍍金時,,儀表上電流約100A,鍍Al時電流可稍微小些,,約70~80A,。
* 當(dāng)BOAT高熱發(fā)出紅光時,應(yīng)立即關(guān)閉觀景窗,,以免金屬附著在觀景窗的玻璃上,。
* 空鍍幾秒將待鍍金屬表面清干凈后即可打開Shutter,開始蒸鍍,。
* 蒸鍍完成后,,立刻關(guān)閉HeaterPower,等10~15分鐘讓BOAT冷卻及蒸鍍后的金屬冷卻,,避免立即和空氣接觸而氧化,,才可vent破真空。
E.破真空
1. Substrate Hold溫度需要降至常溫,。
2. ION GAUGE 【POWER】OFF,。
3. M.V OFF。
4. DP OFF 冷卻30~60分鐘。
5. 開Vent(進(jìn)氣后立刻關(guān)閉),。
6. 開Chamber,,取出Sample及BOAT。
7. 關(guān)Chamber,,注意將門關(guān)緊,。
F.關(guān)機
1. 關(guān)F.V。
2. 開R.V,,抽至0.01 Torr之后關(guān)閉,。
3. 開F.V,30秒后三向閥切至關(guān)閉之位置,。
4. RP OFF,。
5. 關(guān)總電源。
6. 關(guān)冷卻水,。
7. 關(guān)氮氣,。
注意:
* 蒸鍍時,電流應(yīng)緩慢增大,,且不可太大,,以免金屬在瞬間大量氣化,使厚度不易控制,。
* 若接續(xù)他人使用,,液態(tài)氮可少灌一點兒,約三分之一筒即可,。
氧化爐管
使用操作方法
氧化爐管簡介
本實驗室所采用之氧化爐管為Lenton LTF1200水平管狀式爐子,,可放2英吋硅晶圓,加熱區(qū)大于50cm,,最高溫度可達(dá)1200°C并可連續(xù)24hr,,最大操作溫度為1150°C,溫控方式采用PID微電腦自動溫度控制器,。
目的
將硅芯片曝露在高溫且含氧的環(huán)境中一段時間后,,我們可以在硅芯片的表面生長一層與硅的附著性良好,且電性符合我們要求的絕緣體-SiO2,。
注意:
*在開啟氧化爐之前,,必須先確定【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)閉的狀態(tài)。Switch在有電源供應(yīng)時【l】將會發(fā)光,,而氧化爐也將開始加熱,。
*如果過溫保護(hù)裝置是好的,請確定警報點的設(shè)定于目前的使用過程中為恰當(dāng)?shù)?。如果過熱保護(hù)裝置是好的,,蜂嗚器會有聲音,,在過溫控制操作中有警報一致的程序。
* 為了改善石英玻璃管或襯套熱量的碰撞,,其加熱速率最大不能超過3°C per min,。
* 為了減少熱流失,必須確定正確的操作程序,,適當(dāng)?shù)氖褂媒^緣栓和放射遮蔽可以密封石英玻璃管,。
* 在操作氧化爐時不要在最大溫度下關(guān)閉氧化爐,以延長氧化爐的壽命,。
操作步驟:
1. 檢查前一次操作是否有異常問題發(fā)生,,并填寫操作記錄。
2. 檢查機臺狀態(tài)
(1) 控制面板狀態(tài):使用前先確定【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)閉的狀態(tài),。
(2) 加熱控制器: Lenton LTF 1200溫度400°C,,前后段爐溫差£40°C。
(3) 氣體控制:H2【OFF】,,O2 【OFF】。
3. 將芯片緩慢的推入爐管內(nèi),。
4. 打開墻上H2,、O2之開關(guān)和機房的氣瓶調(diào)壓閥。
5. 設(shè)定預(yù)設(shè)氣體(H2 ,、O2)流量值及爐溫,。
6. 按下【HEAT】Switch為【l】,此時爐溫將從恒溫(400°C)慢慢加熱至標(biāo)準(zhǔn)制程溫度1100°C,,升溫速率最大不能超過3°C per min,。
7. 待爐溫降至恒溫后將芯片取出。
8. 關(guān)閉H2,、O2 ,。
9. 關(guān)閉爐管后端H2之開關(guān)及墻上之開關(guān)和機房的氣瓶調(diào)壓閥。
10. 檢查爐管是否完成關(guān)機動作,。
11. 填寫操作記錄之終了時間和異常保護(hù)及說明,。
涂布機
使用操作方法
1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。
2. 將涂布機的插頭插入110V的電源插座,,然后按下【POWER】鍵,。
3. 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時間,本機型為二段式加速的Spin Coating,,右邊為第一段加速,,左邊為第二段加速。
4. 依不同尺寸的基材,,可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤做涂布的動作,。
5.按下【PUMP】鍵,此時旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會吸住基材,然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當(dāng)?shù)牧?,在做光阻涂開動作時可先用氮氣將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤周圍及基材吹干凈,。
6. 蓋上涂布機的保護(hù)蓋,以防止光阻濺出涂布機外,。
7. 按下【START】鍵,,涂布機便開始做涂布的動作。
8. 涂布完畢后,,打開保護(hù)蓋,,按下【PUMP】鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會放開基材,便可以將基材取出,。
熱風(fēng)循環(huán)烘箱
使用操作方法
1. 本機使用電壓110V/60HZ,。
2. 確認(rèn)電壓后,將電源線插入110V的插座,。
3. 打開【POWER】開關(guān),,此時溫度表PV即顯示箱內(nèi)實際溫度。
4. 首先按【SET】鍵?,,SV會一直閃爍此時即可開始設(shè)定溫度,,而SV的字幕窗會呈現(xiàn)高亮度,在高亮度的位置可設(shè)定所需的溫度,,只要再按【SET】鍵?高亮度會隨之移動,,在高亮度的地方即可設(shè)定溫度。
5. 按上移鍵▲表示溫度往上遞增,,按下移鍵▼則溫度往下遞減,。
6. 當(dāng)完成以上設(shè)定溫度之后(SV仍閃爍不停)此時只要按一次【ENT】鍵SV即呈現(xiàn)剛才所設(shè)定的溫度(PV顯示實際溫度)。
7. 加熱燈OUT顯示燈亮?xí)r表示機器正在加熱中,,而到達(dá)設(shè)定點時OUT會一閃一爍(正?,F(xiàn)象)。
8. AT燈亮?xí)r表示溫度正自動演算中,。
9. ALM-1紅色燈亮?xí)r表示溫度過熱(溫度會自動降溫),。
10. ALM-2紅色燈亮?xí)r表示溫度過低(溫度會自動加溫)。
11. 溫度范圍:40℃~210℃,。
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